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橢圓測厚儀

產品時間:2019-08-05

簡要描述:

橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:HAD-SGC-1A

技術指標:





編號


名稱


參數




1


測量範圍


1nm-300nm




2


測量最小值


≤1nm




3


入射角


30°~90°誤差≤0.1°




4


偏振器方位角讀數範圍


0°~180°




5


度盤刻度


每格2

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橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:HAD-SGC-1A

技術指標:

 

編號

名稱

參數

1

測量範圍

1nm-300nm

2

測量最小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數範圍

0°~180°

5

度盤刻度

每格2度

6

遊標最小讀數

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作台直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg

橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:HAD-SGC-1A

技術指標:

 

編號

名稱

參數

1

測量範圍

1nm-300nm

2

測量最小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數範圍

0°~180°

5

度盤刻度

每格2度

6

遊標最小讀數

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作台直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg

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